作者：千越南秋
且有將近一半，都爲院士。
目前用於流片的晶圓片已完成製造，被送入了光學測量實驗室，進行關鍵的光學測量和電子顯微鏡檢測，這能夠得到詳細的流片數據，以及芯片良品率。
腥搜巯麓谶@裏，正是想第一時間知道結果。
明明面積不大的房間內，大家幾乎緊挨着坐下，卻愣是安靜的很。
紛紛保持着沉默。
誰都沒有率先開口打破僵局。
顯然心情都很緊張。
直到房間門外突然響起一陣敲門聲，瞬間讓腥送瑫r抬起視線望去，心臟彷彿都跳快了不少。
平時一向穩重的院長餘高遠，更是首先脫口喊話。
“進來。”
穿着實驗服的科研人員推門進來，手中拿着份嶄新出爐的報告，腳步纔剛邁進房間，便迫不及待開口彙報。
“徐總師，各位院士領導。”
“晶圓片的光學測量數據結果出來了……”
“直接講吧。”徐銘聞言立刻出聲，把對方的話給打斷。
而這個時候，那位科員人員也沒有耽擱，僅短暫頓了一秒，忙詳細講出報告中的數據。
“根據測量結果顯示，逐光分辨率完全達標，光學成像能力優秀，各層圖案對齊良好，另外光刻機的機械精度達到預期。”
當徐銘以及賀鵬濤和丁順安，等微電子裝備科研人員，聽完這番話後，原本懸着的心總算徹底放下，證明逐光國產極紫外光刻機主體研發成功。
標誌着國內終於擁有了，百分之百國產化的，高端極紫外光刻機。
不過大家並沒有在這個時候鼓掌慶祝，反倒是強壓住心中激動，繼續聽後面的其他流片數據項目結果。
……
第245章 你難道連這個也懂
“繼續講吧。”
徐銘點點頭重新看向對方，示意往下接着報告。
這時旁邊的餘高遠，同樣沒有耽擱，迫不及待也跟在後面附和上一句。
“對。”
“快說下其他測試項目情況？”
迎上現場所有人目光的實驗室工作人員，因緊張下意識嚥了口唾沫後，隨即接着念出手中報告後面的內容。
“線條邊緣粗糙度出現異常，LER的測量值，普遍比璇璣系統預測高出30%。”
隨着這句話講出，房間內的氛圍頓時一變。
原本還浮現在臉上的笑容，瞬間便消失不見，就像是大冬天突然被澆了盆冷水。
沒想到首次全鏈路功能驗證流片，還是不可避免的出現了問題。
而神情變化最大的，則要屬化學研究所人員，尤其是周啓深院士。
旁邊華天科技公司工程師，也微微有些皺眉。
從剛纔的測試結果來看，國產逐光極紫外光刻機，主體研發成功沒有問題，在線條邊緣粗糙度上，出現這麼大數值的偏差，原因大概率在光刻膠或者算法工具，說明仍舊存在沒有發現的錯誤。
正當大家陷入沉思時，只見周啓深一個跨步，來到那位實驗室人員跟前，迅速接過數據報告認真查看起來。
視線約莫移動了幾行內容，口中不由得低喃出聲。
“線條邊緣在顯微鏡下，呈現出顫抖的毛邊形態，並非預測中的光滑刀刃。”
“我們的光刻膠剛完成技術升級……”
“不應出現這種情況纔對？”
話音還未完全落下，華天科技董事長孫慶豐，幾乎下意識脫口接上一句。
“璇璣系統是由徐總師親自帶領大家開發，預測的數值絕對能夠保證精度。”
“沒錯。”蘇振豪聞言也點了點頭。
他全程見證了，徐銘親自參與璇璣系統開發，深知其核心算法和模型的技術程度，是絕無例外的遠遠領先於海外三大EDA公司產品。
賀鵬濤與丁順安等微電子裝備這邊，按理說應該會逐光極紫外光刻機的成功高興，但突然出現這種情況，心裏湧現出幾分擔憂。畢竟無論光刻機還是光刻膠，亦或者璇璣系統軟件，都是爲了製造高端芯片服務，任何環節出現問題所帶來的結果一樣。
那就是生產線無法啓動。
至於院長餘高遠，和其他領導，因未具體參加項目。
面對稍專業的內容，無法做出判斷。
只得把目光投向，身爲總設計師的徐銘。
將大家的反應看在眼裏，徐銘這時卻並不意外，相反早就做出了類似情況的措施。
不管怎麼說，這都是首次進行全鏈路流片驗證，中間涉及到的因素實在太多太多，縱使發生狀況也屬於很正常的一件事情。
要知道在極紫外光刻機領域，國內可沒有什麼流片的具體經驗。
在這件事上，還是要承認海外優勢的。
念頭停留在這裏，他目光在腥松砩蠏哌^，接下週院士遞來的報告，垂眼快速瀏覽完後，依舊無比鎮定的講出自己的相關判斷。
“可能是工藝波動，或者測量誤差，先等電性測試結果出來吧。”
“結果預計多久？”後邊這句是對實驗室人員說的。
“報告徐總師，電性測試也在進行中，下午應該就應能有詳細數據出來。”實驗室工作人員連忙沉聲回答。
“那好。”
“大家就再耐心等等吧。”徐銘收回目光看向大家說。
眼看後續方向明確下來，餘高遠也不再沉默，主動接過話茬幫助大家調整好心態。
“爲了研發出，百分之國產化的芯片製造產業鏈，咱們所有人都已經等了很多年。”
“哪還會差這點時間。”
“況且咱們還有將近一年時間，肯定來得及。”
儘管他很清楚，大家都肩負着很大壓力，無比希望能在阿斯麥新產品正式發佈前，推出國產極紫外光刻機，但越是到這個時候越是要穩住心態。
確保產品技術的絕對成熟。
而最關鍵的一點，是他對徐銘的信心。
有着餘高遠調節氛圍，待實驗室工作人員，急忙離開去盯電性測試時，房間內也再次恢復安靜，誰都沒有率先開口打破僵局進行交流。
不過可以確定一點，周啓深以及化學研究所，大部分人臉上神情都肉眼可見的緊張。
彷彿在等待最終的宣判書。
在這種氛圍下，中午大家甚至都沒捨得，下樓去外面食堂喫飯。
直接訂了些盒飯送到房間，邊喫邊等結果。
時間一分一秒過去，當日頭走過正午，逐漸向西面偏移快到三點的時候。
萬衅诖拢块g的門終於再次被敲響。
這回不用徐銘開口，便有人一把拉開房門，將人拽進來的同時迫切詢問。
“怎麼樣？”
“數據結果出來了嗎？”
此話一出，也瞬間吸引現場所有人的目光。
“報告在這裏。”實驗室工作人員，點點頭主動走過去把文件遞到徐銘手中。
徐銘接下打量上去，約摸過去幾分鐘時間，方合上報告轉遞給身旁的其他人翻閱。
“你們也看看吧。”
口中話音前腳剛落下，緊跟在後面又詳細分析。
“晶體管性能未能達到預期，開關速度比璇璣系統預測值慢了15%左右，且波動範圍也比較大。”
“加上漏電流也比預測值高出一個量級，這會嚴重影響芯片的功耗出現失效。”
根據這幾項測試的結果看，實際流片數據，根本達不到璇璣系統的數字流片，這樣的良品率，可沒法用於商業生產線的使用。
必須找到問題將其解決。
很快。
伴隨大家都看完報告，人羣中的蘇振豪率先開口，依舊堅持自己的判斷。
“璇璣系統的模型算法，經過了無數次驗證，預測數值是不可能出現問題的。”
眼看腥艘槍Υ耸抡匍_討論時，只聽徐銘再次開口拍板爲情況做出決斷，顯然通過這些數據報告，已然成功找到了問題的真正所在。
“問題不在於我們的設計軟件，也不在逐光極紫外光刻機的光學投影上，如果我的判斷沒有錯，應該是光刻膠在響應極紫外光時發生了，模型之外的化學反應暴走。”
“由光刻膠響應遲緩隨機，引起圖案邊緣隨機潰散。”
“進而破壞了晶體管的電學特徵。”
“周院研發的新一代光刻膠，雖然實現技術突破，但仍舊沒能達到逐光和璇璣的要求。”
“我們的設計軟件和光刻機，在技術上與海外分屬於不同的技術路線，要想真正發揮出最大優勢，成爲世界上最先進的高端芯片生產線，必須爲他們量身打造一款國產高端光刻膠。”
當徐銘的話音傳到房間每個人耳中，大家心裏也不免感到五味雜陳。
面對這樣的一個結果，不知道該高興還是嘆氣。
首次全鏈路功能驗證流片，在一定程度上，證明了逐光極紫外光刻機，和璇璣系統EDA算法工具的成功，單憑這兩項成果自然值得高興慶賀。
然卻也發現了光刻膠的問題，依舊無法實現真正的國產化高端芯片製造。
周啓深看到結果雖情緒短暫低落，但畢竟是國內化學領域的頂尖專家，他很快便調整好了自己的心態。
待目光重新浮現堅定之色時，立刻向餘高遠說話。
“請院裏和領導放心，我們化學研究所，保證在一年時間內找到並解決光刻膠響應遲緩隨機。”
“不影響國產芯片製造產業鏈問世。”
然餘高遠聽完這句話後，卻並沒有立刻開口表態。
反倒是把視線投向徐銘詢問道：“你是整個專項項目的總設計師，先談談你的想法和後續打算吧？”說話時臉上表情隱隱夾雜着幾分期待。
以他對徐銘的瞭解，既然能直接確定問題，那麼大概率已經有解決方案。
肯定要先詢問清楚。
畢竟和徐銘接觸的這段時間，他可沒少從對方那裏聽到驚喜。
沒錯。
徐銘對於光刻膠的響應遲緩隨機，確實沒有太擔心。
正常情況下，要爲光刻機和軟件量身打造光刻膠，的確是件非常困難的事情。
尤其在化學合成以及實驗的時候，往往要經歷無數次的失敗後，才能找到最合適的配比技術和數值，而這個過程相對來說也比較漫長。
若放在以前時間充足的情況下，那自然可以慢慢去研發實驗。
奈何眼下留給國內的時間只剩一年。
但好在憑藉璇璣系統的強大，可以通過數學物理模型把編寫光刻膠的分子結構。
真正做到完美適配。
要知道極紫外光刻的本質，是光與物質在皮米尺度上的華麗舞蹈，而璇璣系統便是編好的舞蹈動作，光刻膠則歸屬於那個跳舞的舞者。
只要編寫出具體的分子結構，爲每束極紫外光，制定它的化學反應。
再由化學合成團隊，根據結構和路徑製造光刻膠。
採用這種方法，其效率要遠遠超過傳統方案。
相信不用一年的時間，就能研發出完全適配，逐光極紫外光刻機和璇璣系統的高端光刻膠。
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