作者：茜茜大可耐
這可是參與過兩彈一星、載人航天、航母工程等多項國家重大工程的研究所。
冰城工業大學就更加不用多說，一個具有自己發射衛星、甚至具有核打擊能力的大學，就這一點：足以說明它的地位！
據馬院士所知，冰城工業大學早些年，涉及到國家一個重要科學課題，在光學領域有極深的研究。
第110章 冰城工業大學012號課題！（1更）
“我查到冰城工業大學從4157年（耶穌歷2000年）到去年爲止，在光源上提交了上千項專利申請……”
冰城工業大學從4157年開始的就有進行極紫外光源的相關研究，並申請了一些專利。
只不過那時候，誰知道相關研究的重要性？
4157年之後，冰城工業大學和國家開啓了一個課題，一直到去年……累計提交了上千份關於光源、極紫外光源的專利申請，獲批的專利也有很多。
不少專利都有很大的作用！
只不過距離要用在光刻機上，還差了整整一代！
相差了20多年！
當然，這20多年是當初光刻機技術被卡了20多年，那是從零到一的探索。
現在撿起來研究，也不會被卡20多年。
冰城工業大學的課題到了後面兩年，似乎已經快要結束，並沒有繼續的意思。
李浩查不到具體課題研究什麼，但是從專利的申請時間和數量來看，後面兩年專利申請明顯降低。
更大可能不是不想研究……而是很難去研究。
到了這個時候，國外的研究機構，都已經將極紫外光源的專利註冊了。
所以專利申請的數量降低，該課題也可能要結束了。
投入和收穫不成正比。
冰城工業大學，說白了，它是一所大學，教書育人、每年的科研經費有限、要研究的項目和課題太多了。
投入幾十億？幾百億去研究光源？
學校不用開辦？
學生還要不要教了？
那麼多教授、那麼多專家、院士，其他課題不需要資金？
即便是一家企業，也不敢說投入幾十億、上百億的資金去研究光源。
關鍵……這個投入，還不一定會出研究成果。
馬院士聽李浩說冰城工業大學4157年開始在研究極紫外光源，他腦海中有這個印象：“是012號課題，似乎是去年結束吧？”
“具體情況不清楚，我幫你問問就行，剛好咱們船上有一位王院士就，他是冰城工業大學的博導、長光所前任所長和館長！！”
“謝謝馬院士！”
李浩理解道謝。
馬院士笑着擺手：“別說謝不謝的，這都是小事情，你爲我們項目帶來的幫助足夠大。”
“研究半導體芯片、光刻機，我也知道很難，你自己知道很難還是要去研究……就衝着這個，我也會幫你！”
“王院士是一個很好的人，長光所當初也有研究光刻機，只不過……”
“唉，我幫你找他說說，他知道你要投入光刻機的研究，肯定會支持你的！”
“那就麻煩您了！”
……
新年過後，李浩見到了冰城工業大學、航天動力技術部的博導，前任長光所所長和館長——王琪海院士。
王其海院士新年就回來了，投入到003號船的動力系統的研究中。
希望早日看到003船完工下水，積累足夠的技術經驗，等004號航母用上更好的技術！
要知道，王院士已經79歲，馬上就80歲了，還奮鬥在研究中，當真讓人汗顏，更讓人敬佩。
“這位是王院士！”
“王老，這是我跟你說的小浩，一個很有本事和抱負的年輕人！”
馬院士相互坐了介紹。
近60歲的馬院士，在王院士面前就顯得年輕很多，也要尊稱一聲：王老。
“馬院士誇讚了。”李浩很謙虛，尊敬地向王院士問好：“王院士，您好，我是李浩。”
“我聽說過你，非常了不起，有你和你的團隊加入，彈射技術進展很快，咱們003號已經正式確定列裝該功能了！”
王院士這個級別，還是負責003號最核心的動力系統，負責讓航母動起來，爲整個航母提供能量。
整個航母的電力系統，都是李浩這邊的電控系統來管理，研究項目相互之間是有交叉的地方。
當然知道李浩和他的團隊很厲害。
李浩謙虛道：“哪裏，都是大家的功勞。”
大家閒聊了一番，隨後也正式進入主題。
王院士說道：“聽馬院士說，你接手了鴻芯？投入大筆資金研究光刻機？目前研究到哪裏了？”
光刻機有多難？
王院士當初可是長光所所長、館長，如今已經退休了。
像這樣的國寶級人才，退休也是返聘。
老人家也不讓自己停下來休息，選擇繼續在一線折騰。
當初長光所放棄光刻機的研究，就知道這方面的封鎖有多難。
李浩也知道，這是王院士對他的考驗。
或者說，想知道浩鼎實驗室有多少技術？
光刻機方面的研究，不是靠投入資金就能解決的。
資金僅僅是最基本的東西！
最重要的核心技術、人才、時間……最後纔是資金。
“液壓技術方面，我們已經有了突破……我們在精密儀器、高精度加工設備上也有研究。”
“橡膠材料方面的技術也已經取得突破。”
“核心透鏡我們已經解決了！”
“曝光技術、校準技術、掩膜等方面的技術都已經有實質性的突破。”
“下游的光刻膠、光刻機氣體等技術和材料都有突破！”
“目前，我主要研究方向是光源……”
李浩使用「研發中心」研發出5nm光刻機，之前還研究過車載芯片。
關於光刻機和芯片方面的專業知識、技術難題等等。
他知道得一清二楚。
是不是有真本事？
是不是真的有技術突破？
他和王琪海院士聊一聊就知道。
王琪海院士不是專業研究光刻機的，但他對光學工程方面還是相當瞭解的。
像王琪海院士這一代的人，人家專注的研究領域可不是某一個領域，在多個領域都算得上大牛！
非常厲害！
像雙工作臺、多重曝光技術這些，國內就有研究和突破。
李浩這邊就更加成熟。
其實，委託齊勇從歐洲買來的32nm光刻機，使用的是DUV光源。
較比阿斯麥目前最新的EUV光刻機，光源波長比較長。
EUV光源可以做到10-15nm，光刻機起步就能做到7nm製程工藝到微米級別。
DUV最多就是28nm的製程工藝，通過多重曝光技術，也可以做到7nm工藝，這已經是極限了。
國內有研究團隊說能做到7nm工藝，就是DUV技術使用多重曝光技術。
只是相關技術……還是在實驗室裏。
理論上的！
量產光刻機……根本造不出來！
多重曝光技術也很好理解：原本光刻機將芯片的電路圖紙直接光刻到芯片上，光源比較粗，製程工藝有限制。
多重曝光技術，將原本芯片上的圖紙，拆分成多份，分別進行光刻，然後再組合起來，形成一個完整的電路圖。
這樣做，能讓DUV光刻機理論上也能加工7nm芯片，但這也是極限了。
5nm是不可能的。
即便使用多重曝光技術拆分電路圖，光源還是太粗，組合成一張電路圖的時候，還是會出錯。
這就需要EUV光源，它的波長更短，這個‘光’是一把更精緻的刻刀，能雕刻更細微的電路圖。
第111章 牽線搭橋，微服私訪？（2更）
“聽你這麼說，是對集成電路領域是做足了充分準備的……”
“還以爲你只是一時腦熱，滿腔熱血的進入這個領域。”
王琪海院士聽李浩說了這麼多，知道這個年輕人並非一時腦熱就去研究光刻機。
從技術儲備方面來看，這個年輕人的團隊在下游芯片設計，甚至芯片材料方面都有做技術儲備。
“你準備如何解決光源的問題？”
王琪海院士又向李浩介紹長光所以及冰城工業大學，目前在極紫外光源方面的研究成果。
“冰城工業大學在國家012號課題上，進行關於光學領域的研究……極紫外光的研究只是其中一個分類。”
“這個課題在去年已經結束了……到了後期，相關的研究已經沒有太大的進展，研發投入和收穫不成正比。”
“冰城工業大學的Euv光源技術，是基於Xe氣毛細管放電技術。”
“屬於早期一種DPP光源技術，達不到製作EUV光刻機的要求！”
“長光所在Xe等離子體Euv光源研究上，主要研究方向也是各種短波長激光器，並非在Euv光源上。”
“國內各大高校和研究所，在EUV光源的研究上，大概相當於國外1998年的水平！”
王琪海院士可是主管長光所，如今也是冰城工業大學的博導，對這兩方面都十分了解。
李浩表示：“在浩鼎實驗室，已經製作出一臺頻率爲1000kHz的等離子體極紫外光原機的設備……”
“收集系統採用Wolte——X型反射鏡結構，以掠入射方式，將管內發出的13.5nm的極紫外光源聚焦到IF點……在重複頻率爲1 kHz時，2π立體角內13.5 nm 輻射光功率約爲1.4 W ，經估算 IF 點的功率約100 mW 。”
“目前能做到13.5nm的放電Xe等離子體極紫外光源！”
“很了不起！”王琪海院士毫不吝嗇地稱讚，他想了想，說到：“這相當於國外零幾年的技術吧！”
“從Duv光源到EUV光源，國外光刻機巨頭被卡了那麼多年……我們現在不需要摸着石頭過河，只需要摸着他們過河就行！”
李浩這邊在光源方面，能有這樣的研究進展，確實投入很大的精力。
連光源設備的樣機都造出來了！
加上李浩之前所說的各種技術儲備。
浩鼎實驗室在光刻機領域的研究，還真是不可小覷。
王琪海院士覺得，怎麼都要幫這個年輕人一把。
這個年輕人懷着滿腔熱血接手了鴻芯，投入了大量的資金和精力，要研究光刻機和芯片。
上一篇：现代长生：从八段锦开始
下一篇：这主播真狗，挣够200就下播